采用高分(fèn)辨率成像的明暗场晶(jīng)圆表面(miàn)检测,基于图像算法、检测模型和良品异常(cháng)检测三种模式,检出晶圆(yuán)表面缺陷,并提供数据统计分(fèn)析
2D检测(cè)精(jīng)确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏(lòu)检率
ppm
≤50
先进算法储备
AI大模型与小模型(xíng)融合,支持基(jī)于良品(pǐn)和不良品的模型训练方式,支持基于大模型的智慧标注(zhù)和样本生成,解决(jué)样(yàng)本不均(jun1)衡场(chǎng)景下的快速上线(xiàn),支持增量学(xué)习(xí)模式,控(kòng)制样本集规模,提高模型迭代速度,支持并(bìng)行、并发的处理(lǐ)模式(shì)
数据统(tǒng)计和分析功能(néng)
用于检测和生(shēng)产(chǎn)过程中的数据统(tǒng)计(jì),提供(gòng)多种(zhǒng)看(kàn)板模版;针(zhēn)对指定缺陷种类或者(zhě)指(zhǐ)定(dìng)时(shí)间段,提供多(duō)种良率统计方式;提供多种数(shù)据保存接口,生产过程(chéng)可追溯;针对(duì)工业场景(jǐng)特点,支持灵活自由配置显示单元、统计指标、结果查询、导出、上(shàng)传逻辑;集成统一、可视化(huà)的多机位硬(yìng)件接口调试工具,使调试过程更加便捷
算(suàn)法特色
在复(fù)杂(zá)背(bèi)景影像中。我(wǒ)们依然可以将(jiāng)污染正确检出;可以将特定(dìng)特征瑕疵给予消除; 自动产生针(zhēn)痕屏蔽(bì)。消(xiāo)除针痕位(wèi)置,抓取针痕外的瑕疵